制備芯片原材料，我國有了更大的“鍋”

據(jù)科技日報報道，6 月30日，位于浙江省余姚市，由寧波江豐電子材料股份有限公司（以下簡稱江豐電子）與四川航空工業(yè)川西機器有限責(zé)任公司（以下簡稱川西機器）聯(lián)合研制的超大規(guī)格熱等靜壓設(shè)備投產(chǎn)。

這次投產(chǎn)的超大規(guī)格熱等靜壓設(shè)備實現(xiàn)了完全國產(chǎn)化，相關(guān)技術(shù)參數(shù)均達到國際先進水平。設(shè)備有效熱區(qū)工作高度 4.5 米，直徑 1.25 米，最高加熱溫度可達 1500℃，最大壓力可達 2000 個大氣壓，相當(dāng)于 20000 米深海底的壓力，是制備高端液晶面板用大尺寸鉬合金靶材、粉末冶金材料及航空航天等關(guān)鍵材料必備的國之重器。設(shè)備投產(chǎn)后，將促進熱等靜壓技術(shù)在超高純靶材制備的應(yīng)用，中國電子材料產(chǎn)業(yè)可望躋身國際設(shè)備領(lǐng)先水平，補齊我國在該領(lǐng)域的設(shè)備短板，為我國電子材料領(lǐng)域提供了新的設(shè)備保障能力。

據(jù)悉，高純?yōu)R射靶材是國家中長期發(fā)展規(guī)劃中明確重點發(fā)展的戰(zhàn)略性新興材料，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片、平面顯示器、太陽能電池、信息存儲和光學(xué)應(yīng)用等行業(yè)。據(jù)介紹，超高純材料的致密化是制備電子信息產(chǎn)業(yè)靶材的基礎(chǔ)。熱等靜壓設(shè)備可實現(xiàn)高純粉末冶金濺射靶材有效致密化、靶材基板異種金屬大面積擴散焊接，可對超高純原材料的制備提供消除缺陷、達到完美致密工藝要求的設(shè)備保障。

“不妨將靶材和熱等靜壓設(shè)備比作食材和高壓鍋，現(xiàn)有技術(shù)條件下，燒制時間變化不大。為提高制備效率，我們需要更大的‘高壓鍋’，無論制備超長規(guī)格的高純?yōu)R射靶材、還是小尺寸靶材，都能提高單位時間的產(chǎn)量?！睂幉ńS熱等靜壓技術(shù)有限公司總經(jīng)理曹歡歡介紹。

IT之家了解到，寧波江豐熱等靜壓技術(shù)有限公司專業(yè)從事各種新型高端材料的研發(fā)制造，如超高純難熔金屬靶材、特種陶瓷等，同時還可進行各種大型結(jié)構(gòu)鑄件的高溫高壓致密化處理以及異種金屬間大面積擴散焊接處理，技術(shù)和產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、航空航天、能源、汽車、生物醫(yī)療等行業(yè)。

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